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2002年5月23日 1. 摘要：. 一种可减少微刮痕的钨金属的化学机械研磨制程.提供一半导体基底,其包含有第一导电层且被介电层所覆盖,介层窗结构是穿越介电层且使第一导电层的表面暴露,以及一钨金属层是形成于介电层上且填满介层窗结构.钨金属的CMP制程的前段研磨是采用

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